扫描电子显微镜

仪器名称	扫描电子显微镜	仪器型号	Sigma 300
仪器编号	21118510T0015	仪器来源	保障条件建设项目
生产厂商	卡尔蔡司（上海）管理有限公司	启用日期	2020.12
仪器类别	航天	仪器原值	280.1 万元
所在部门单位	可靠性与环境试验中心
仪器负责人	翁正	联系电话	13521043714
地址	怀柔园区4号楼D0611	邮编	100190
E-mali	wengzheng@nssc.ac.cn
主要技术指标	1）电子束分辨率：30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm； 2）背散射电子分辨率：3.0nm@30kV； 3）加速电压：0.02kV－30KV； 4）探测器：二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机； 5）样品台行程X≥125mm，Y≥125mm，Z≥50mm，倾斜角度≥-10～+90°，R=360°连续旋转；
包含主要附件	1）能谱仪 2）循环水机 3）真空泵 4）压缩机 5） UPS
仪器主要功能	扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具，可以对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。主要可用于金属、陶瓷、高分子、半导体、地矿等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等，可对半导体器件的失效分析、表面形貌的观察及信息采集。
仪器服务领域	空间科学卫星系列及有效载荷研制测试
计量认证资质		实验室认可
仪器现状	完好
收费标准	558 元/小时
仪器图片