双束聚焦粒子束系统
| 仪器名称 | 双束聚焦粒子束系统 | 仪器型号 | Scois 2 |
| 仪器编号 | 25118510KX095 | 仪器来源 | / |
| 生产厂商 | Thermo Fisher | 启用日期 | 2025-12 |
| 仪器类别 | 分析仪器-电子光学仪器 | 仪器原值 | 4612568.58 元 |
| 所在部门单位 | 试验中心-可靠性 | ||
| 仪器负责人 | 翁正 | 联系电话 | 010-52804252 |
| 地址 | 怀柔园区4号楼D0611 | 邮编 | 101400 |
| E-mali | wengzheng@nssc.ac.cn | ||
| 主要技术指标 | 1.电子束分辨率：1.361nm nm@1kV，0.9749nm@15kV 2.离子束分辨率：交叉点分辨率2.936nm @30kV 3.样品室尺寸：内径360mm，附件/探测器接口20个 4.样品台：五轴马达驱动，倾斜范围-15°～90°，旋转范围0~360° | ||
| 包含主要附件 | |||
| 仪器主要功能 | 用于电子元器件内部结构微观加，通过运用离子束进行半导体芯片线路版图修改以及剖面制备，同时配合电子束进行显微结构成像，在不改变样品状态的情况下实现微观结构加工质量的实时观察。 | ||
| 仪器服务领域 | 微电子元器件 | ||
| 计量认证资质 | 实验室认可 | ||
| 仪器现状 | 正常 | ||
| 收费标准 | 656 元/小时 | ||
| 仪器图片 |
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