氦质谱检漏仪
1. 设备全景图片
2.设备概况
品牌：KYKY
型号：ZQJ-230D
用途：主要检测密封性元器件的密封性是否完好。
3. 设备功能简述
氦质谱检漏仪由真空系统、质谱管、电子学线路和机架四部分组成。
真空系统是用来获得质谱管正常工作所需真空、抽除检漏后残存在系统中氦气以及对被检件抽真空。其中，真空系统包括涡轮分子泵、机械泵和组合阀。
1、机械泵：
采用旋片式双级单相直联机械泵，抽速为2L/S。机械泵用来维持分子泵工作所需前级真空和对被检件预抽真空。
2、涡轮分子泵：
采用FB150型风冷式涡轮分子泵，抽速150L/S，对氦气有较低的压缩比，可两种转速运行，以使仪器达到不同的检漏性能。
3、组合阀：
由预抽阀、检漏阀和放气阀组成，可对被检件实现预抽真空、检漏和放大气的全部检漏操作程序预抽阀。
质谱管是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁铁、接受极与前置放大器、全离子检测极及壳体等部分。
1、离子源：
离子源包括电离盒、推斥极、聚焦极、灯丝及出口缝。
2、磁分析器：
该分析器为90度磁偏转分析器，偏转半径2cm，气隙7mm，场强约0.25T。
3、接收器：
由接收极、抑制极、接受缝和前置放大器组成的，接收器安装在一个与离子源同样的八芯法兰上。
4、全离子检测极：
是一个宽9mm、长约15mm，与磁分析器极靴有着相近曲率半径的不锈钢片。
4. 设备的技术特点
该设备采用背压法进行测试，检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
可以对密封容器的泄露进行快速定位和定量测量，改变加速电压使不同质量的离子通过磁场和接受缝到达接收极而被检测。
运用分子泵对不同质量的气体具有不同的压缩比即利用不同气体的逆扩散程度不同而设计的，允许被检件内压强较高，可达20Pa，特别适合检大型容器或有大漏的试件；
5. 设备的技术参数
（1）仪器最小检测漏率为5Χ10-11Pa•m3/S；
（2）漏率显示范围2Χ10-11Pa•m3/S ~9.8Χ10-5Pa•m3/S；
（3）反应时间小于3S，启动时间小于8min；
（4）允许检漏口最高压力20Pa，最高工作压力为3X10-2Pa。
6. 设备的技术优势
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理不同外，以检漏灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体。
电磁组合阀及其控制系统可以预置预抽到检漏的转换压力值，在真空度达到设定值时，自动转换到检漏状态，实现检漏过程的自动化，避免手动操作可能产生的误操作。此外，还有延长与预抽时间的控制和检漏过程中防止试件真空变差的自动保护等功能。
7. 设备的应用行业
用于检测集成电路、混合电路、继电器等航空、航天及相关军事领域。