镜面定位仪
1. 设备全景图片
2.设备概况
品牌:Fogale
型号:LS600
类型:光学系统测量设备
用途:利用非接触式探测方法来对光学系统中的镜片等器件进行定位,保证光学元件的安装精度。
3. 设备功能简述
镜面定位仪采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪,并且参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以测量被测镜的位置。
4. 设备的技术特点
4.1测量精度高,由于采用短波长相关光源,测量精度更高。
4.2可以进行非接触式测量,避免损坏光学器件,也可以对常规方法不能测量的器件进行测量。
5. 设备的技术参数
序号 | 测量参数 | 功能及性能描述 |
1 | 测量精度 | 优于1um |
2 | 量程 | 600mm |
6. 设备的技术优势
测量精度高,达到国际先进水平。
7. 设备的应用行业
光学系统装调、精密光学器件测量。