镜面定位仪

1. 设备全景图片


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2.设备概况

品牌:Fogale

型号:LS600

类型:光学系统测量设备

用途:利用非接触式探测方法来对光学系统中的镜片等器件进行定位,保证光学元件的安装精度。 

3. 设备功能简述

镜面定位仪采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪,并且参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以测量被测镜的位置。

4. 设备的技术特点

4.1测量精度高,由于采用短波长相关光源,测量精度更高

4.2可以进行非接触式测量,避免损坏光学器件,也可以对常规方法不能测量的器件进行测量

 

5. 设备的技术参数

序号

测量参数

功能及性能描述

1

测量精度

优于1um

2

量程

600mm


6. 设备的技术优势

测量精度高,达到国际先进水平。

7. 设备的应用行业

光学系统装调、精密光学器件测量。