无谐波软X射线单色仪

1. 设备全景图片

2.设备概况

品牌：非标

型号：非标

类型：软X射线定标设备

用途：产生10~1000eV范围单色软X射线，用于X射线成像仪和光谱仪等设备波长标定和测试。

3. 设备功能简述

软X射线极易被空气吸收，一般在真空中测试。无谐波软X射线成像仪由X射线光机、无谐波X射线光学系统以及真空腔组成，通过调节光路系统参数可产生高单色性的软X射线，为X射线成像仪以及光谱仪等设备进行波长、亮度等测试和标定提供高质量的单色X射线源。为开展系列科学探测实验、开展实验数据分析提供支持。

同时，软X射线定标系统还配置单了两条真空扩束管道和控制柜台，实现X射线的准直和测试环境监控。该设备主要由X光机模块、单色仪系统主体模块、真空扩束模块和真空室测试台模块组成。

4. 设备的技术特点

4.1结构稳定性好：无谐波单色仪主体包括单色仪腔体、镜架、狭缝、光阑及支撑架等结构，整体金属密封，稳定性好，有效减少减震带来的光路微变。内置专用电控镜架调节装置，可实现光路参数的精调。

4.2高次谐波占比小：高次谐波占比是衡量一个单色仪系统输出单色化光束中包含高次谐波成分比重的参数，主要用于表征单色仪出射光束的能谱纯度。无谐波软X射线单色仪通过先进的单极衍射光栅，配合前级准直镜和后端聚焦镜，可将光栅产生的高次谐波成分占比抑制到小于0.3%

4.3覆盖软X射线工作能段：针对软X射线的测试需求，设备通过调节滤光片与靶材，可覆盖10eV~1000eV的工作能段，通过精确电控光栅旋转角度，可设置测试的单色X射线光源参数，实现低于10eV的调节步长，能量分辨率E/ΔE>40。

4.4设备扩展性：在真空定标系统中还配置了另一条9m长的真空扩束光路，内部镀黑，高吸光率，可实现X射线扩束和准直，基于放射源、X射线管等可实现更高X射线能量的定标测试，同时测试结果可以单色仪光路进行对比分析，为科学数据处理与分析提供支持。

5. 设备的技术参数

5.1 设备尺寸：单色仪主体：长5m，宽1m；真空扩束管道：7m和9m；真空测试腔内部有效空间：φ1520mm× L1500mm;散焦准直扩束段腔：φ200×L7000mm,参考光源准直腔：φ200×L9000mm。

5.2整机参数：

工作能段：        10~1000eV

能谱分辨率：  E/ΔE>40

高次谐波占比：  ＜0.3%

调节步长：            ＜10eV

极限真空度：    优于4×10^-5Pa

负载：      ＞12kg

6. 设备的技术优势

该设备采用了国际先进水平的基于单极衍射光栅的光路设计，高次谐波占比低于0.3%，X射线源单色性好。同时配置了真空扩束管道以及真空测试平台环境，可实现大面积、高单色性的X射线成像仪和X射线光谱仪等设备提供良好的定标测试环境，操作流程化，技术可靠。

7. 设备的应用行业

X射线成像与光谱分析；X射线波长校正；X射线科学探测；航空航天探测等行业。