1、设备全景图片
2、设备概况
类型：多气样、超高真空测试校准。
用途：用于超高真空气体成分及压力校准，包括O2、N2、He、CO2、Ar、Kr、Xe等标准气样。
3、设备功能简述
CS-350型轨道大气测试定标系统是在高真空和超高真空宽校准压力范围内，实施02、N2、He、CO2、Ar、K、Xe等标准气样及混合气样的动态法校准装置，对大气探测器和各种真空测量设备(电离规、转子规、薄膜规、四极质谱计等)进行气体压力、灵敏度和图象系数校准，为各种组件在高真空或超高真空下测试创造条件。
4、设备的技术特点
该系统采用极高真空动态流导法获取超高真空环境，由以下几部分组成：轨道大气定标系统-气样流量和成分调控装置、系统控制器、残余气体分析器
l 能提供高真空及超高真空环境，进行真空测量设备的测试校准，压力校准范围覆盖1×105Pa～1×10-8Pa。
l 能进行单一气样或者混合气样的校准。可测试气体覆盖O2、N2、He、CO2、Ar、Kr、Xe等标准气样。并有残余气体分析器参与数据比对。
l 可短时间内重复多次试验。该系统的抽速大、极限真空高，可反复进行超高及高真空下真空测量设备的校准测试，提高测试校准的效率。
l 具有完善的自动化测控设备。具备对各电离规、转子规、薄膜规、温度、模拟量等进行在线监测记录，获取实时数据，监测设备运行状态。
5、设备的技术参数
l 极限真空
主泵口：5×10-9Pa
校准室：6×10-9Pa
注气室：8×10-8Pa
l 压力校准范围
1×105Pa～1×10-8Pa
l 总不确定度：
优于1×10-5Pa：≤2％
6、设备的技术优势
可在高真空、超高真空、多种标准气样条件下组件的测试校准；校准精度高；获取超高真空速度快；自动化测控设备完善；数据记录完整。
7、设备的应用行业
航空航天；真空计量；真空检漏；真空获取；半导体；镀膜设备；真空测试；真空试验；真空模拟。