1.设备全景图片

2.设备概况

品牌：PVA

型号：AM 300

类型：超声波扫描显微镜。

用途：主要用于无损检查塑封半导体元器件或者材料内部的杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、气泡、孔隙等各种缺陷。

3.设备功能简述

超声波扫描显微镜具体的工作原理为换能器以一定频率发射出超声波，利用声学透镜将发出的超声波聚焦，由耦合介质传到样品上；超声换能器由电子开关控制，使其在发射方式和接收方式之间交替变换。超声脉冲透射进入样品内部并被样品内的某个界面反射形成回波，其往返的时间由界面到换能器的距离决定，回波由示波器显示，其显示的波形是样品不同界面的反射强度与时间（或距离）的关系。通过控制时间窗口的时间，采集某一特定界面的回波而排出其他回波，超声换能器在样品上方以二维方式作机械扫描，通过改变换能器的水平位置，在平面上以机械扫描的方式产生一幅反射声波随反射平面分布的图像。在得到的图像中，与背景相比的衬度变化构成了重要的信息，在有空洞、裂缝、不良粘接、和分层剥离的位置产生高的衬度，因而容易从背景中区分出来，形成样品超声波检查的图像。

4.设备的技术特点

设备采用高速步进马达，拥有最新的高达500MHz的射频技术，支持高达400MHz频率的换能器，可实现微凸点、晶圆键合等结构的高分辨检测。先进的设计不仅能满足大规模量产检测的需求，同时也可应用于专业研究，和电镜，X-Ray等检测手段进行互补。图形接口使得设备操作应用及其简单，模块化的设计和平台，大幅降低使用和维护成本。

5.设备的技术参数

扫描系统：X轴采用线性伺服电机驱动系统，Y、Z轴采用步进电机驱动系统，内置防震台和平衡惯性机构；

扫描范围：X-Y方向300mm×300mm，Z方向50mm；

最大扫描速度：1000mm/s；

换能器配置： 30MHz、50MHz、80MHz、110MHz；

扫描模式：单点扫描模式、Y-Z平面扫描模式、X-Y平面扫描模式、多层扫描模式、透射扫描模式；

6.设备的技术优势

该设备可无损检测样品内部的空洞、分层、裂纹等缺陷，特别是X射线穿透式检测不能识别的分层类缺陷，结合高达500MHz的脉冲发生器和接收器，可按需增加不同频率换能器，实现对多种样品的无损检测。

7.设备的应用行业

塑封电子元器件失效分析、结构分析等可靠性分析领域。