| 仪器名称 | 内部气氛分析仪 | 仪器型号 | EDA 407 |
| 仪器编号 | 25118510KX094 | 仪器来源 | / |
| 生产厂商 | IPI | 启用日期 | 2025-12 |
| 仪器类别 | 分析仪器-质谱仪器 | 仪器原值 | 3012900.4 元 |
| 所在部门单位 | 试验中心-可靠性 | ||
| 仪器负责人 | 翁正 | 联系电话 | 010-52804252 |
| 地址 | 怀柔园区4号楼D0611 | 邮编 | 101400 |
| wengzheng@nssc.ac.cn | |||
| 主要技术指标 | 1.质谱仪分辨范围：1～512原子量；
2.水汽灵敏度：测高纯氮内水汽小于100ppm； 3.系统精度：+/-10%（对水汽，在5000 ppm时）； 4.最小样品体积：0.01ml； 5.封装模拟器：6个 0.01 ml、0.06 ml、0.1 ml、0.3 ml、1 ml、10 ml |
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| 包含主要附件 | |||
| 仪器主要功能 | 主要用于电子元器件内部气氛检测, 工作时先用破碎针刺破电子元器件的表面，逸出的气体通过特定的通道进行离化，系统收集后用高能电子倍增器进行电信号处理，最后通过软件分析处理得到水汽和其它气体的含量。 | ||
| 仪器服务领域 | 密封微电子元器件 | ||
| 计量认证资质 | 实验室认可 | ||
| 仪器现状 | 正常 | ||
| 收费标准 | 587 元/小时 | ||
| 仪器图片 |
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