1.设备全景图片

2.设备概况

品牌：IPI 

型号：EDA 407

类型：质谱仪类内部气体成分分析仪。

用途：主要用于密封封装电子元器件内部气氛中水汽含量检测

3.设备功能简述

内部气氛分析仪主要由真空系统、取样系统、分析系统、数据处理系统及样品夹具等组成。其工作原理是从元器件内部抽取封装气体后进行电离，然后采用质谱仪进行质量分离计数，最后给出各种气体的分压比，从而测定密封型元器件的内部气体成分以及含量。该系统主要性能指标包括检测范围、系统灵敏度及系统精度等。

设备配置一般包括真空系统、取样系统、分析系统、数据处理系统及样品夹具等组成，具体包括具有空气冷却涡轮分子泵的真空箱、前级机械泵、具有温控系统和监视器的样品进入孔、高性能的四极质谱仪、电动真空隔离阀压力监视器、具有露点感应器的露点湿度计、校准腔、通用增湿计、气瓶抽样系统、计算机系统以及相应软件包等。

4.设备的技术特点

设备配置高灵敏度的四极质谱仪，搭配功能强大的全自动数据分析软件，可快速实现气体成分的准确分析。配置多达六个封装模拟器，可最大化降低样品尺寸差异带来的测量误差，整个测试过程耗时短，操作方便。

5.设备的技术参数

质谱仪分辨范围：1～512原子量

水汽灵敏度：小于100ppm

其他气体灵敏度：小于10ppm

系统精度：+/-10%（对水汽，在5000 ppm时）

最小样品体积：0.01ml；               

封装模拟器：0.01ml、0.06ml、0.1ml、0.3ml、1ml、10ml。

6.设备的技术优势

该设备可根据需求升级成为同时具有刺破装置和破碎室的设备，从而可以降低穿刺过程中操作失误带来的测量误差或者完全测试失败的情况。

7.设备的应用行业

密封封装微电子元器件可靠性分析领域。