辐射测试定标系统

1. 系统相关图片图片

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2.系统组成

1)         高真空无油真空系统;

2)         真空紫外单色仪及平行光管(提供120nm-200nm单色光)

3)         0.1nm-20nm光源、极紫外平行光管

4)         极紫外单色仪(提供30.4nm-200nm单色光)

5)        高精度6维转台

3. 系统功能简述

提供20-200nm范围内高精度、高稳定度的单色光、0.1nm-20nm光源以及630nm120-200nm18.5nm-20.5nm的平行光,满足软X射线波段到真空紫外高精度成像仪器和流量监测仪器的部件级及整机级定标测试需要。系统运行在万级超洁净环境下,无油真空系统真空度可以达到10-6帕,并且可提供-190- +120整体测试环境和局部深冷测试环境。

 (1)高真空无油真空系统主要功能:

由于系统工作波段为真空紫外波段,高真空无油真空系统将为测试定标提供必需的真空环境。为防止光学器件被污染,系统为无油、无磁的真空系统。

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(2)真空紫外单色仪及平行光管

提供120nm-200nm波段的真空紫外单色光及平行光,单色仪系统含NIST Traceable 传递标准探测器。仪器提供真空紫外波段各类光学探测仪器及部件的测试定标光源。

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 (30.1nm-20nm光源、极紫外平行光管功能

提供0.1nm-20nm测试用光源,提供口径发散度优于2sec的极紫外和632nm平行光,并配备透射式鉴别率板和10μm-120μm星点板,主要用于光学系统部件及整机分辨率、焦距、透射率等主要参数测试,可用于整机装配测试。

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4)极紫外单色仪(提供30.4nm-200nm单色光)

提供30.4nm-200nm波段的单色光。仪器配备NIST Traceable传递标准探测仪,对单色仪输出能量进行监测,可用于极紫外波段光学探测仪器测试定标。

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(5)高精度6维转台

提供高精度主要用于仪器视场测试、辐射定标试验用漫反射板、探测器等元器件性能测试。

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4. 设备的技术指标

近紫外波段(250nm-360nm):辐射定标相对精度2%

波长定标精度:0.2nm

  真空紫外波段(120-200nm):辐射定标精度:25%

波长定标精度:0.1nm

  极紫外30.4nm: 辐射定标精度:25%

波长定标精度:0.5nm.

5. 设备的技术参数

5.1 尺寸及重量:卧式真空容器,真空室顶端开门,内装热沉,热沉内净尺寸φ1600×1800mm,热沉内空间环境温度可从-40°C+80°C范围内进行调控,以满足不同的高低温试验。

5.2位移台参数:转台可以精确提供搭载仪器的6维位置,即可实现六维平动加转动,能兼容的真空度为10-4-10-5Pa,最大载重(倾斜时)为50kg,X 向平移100mm,精度优于5 μmy向平移100 mm,精度优于5 μm Z向平移50 mm,精度5 μm ;绕X轴转动士10。,精度0.005。;绕z轴转动土25。,精度0.005。最大中心负载大于150Kg,自重20 Kg。选用电机指标:扭矩2Nm,惯量1.24Kg-cm2

6. 设备的技术优势

对紫外、远紫外和极紫外波段空间光学探测仪器进行标定和测试。三个波段针对的探测仪器不同,所需测试的性能及定标的要求也各不相同。三个波段的标定除共用一套大的真空测试系统以外,光源和探测器均是独立的。

 

7. 设备的应用行业

利用标准光源为传递标准光源,并配合标准探测器对正在研制和将要研制的星上短波光学仪器进行整机的辐射定标和测试工作,同时可以进行一些器件级的标定和测试工作。