扫描电子显微镜

1. 设备全景图片


扫描电子1.jpg

2.设备概况

品牌:Carl Zeiss/德国

型号:Sigma 300

类型:扫描电子显微镜

用途:扫描电子显微镜主要用于芯片微观结构缺欠和材料成份的检测,用以判断结构欠缺导致的潜在风险和是否存在航天系统禁限用材料。

 3. 设备功能简述

扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具,可以对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。主要可用于金属、陶瓷、高分子、半导体、地矿等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等,可对半导体器件的失效分析、表面形貌的观察及信息采集。

4. 设备的技术特点

4.1分辨力高:二次电子分辨率30kV 1.0 nm1kV 3.0 nm

4.2放大倍率范围广,倍率调节方便:放大倍数可从14~1000000倍连续可调;

4.3视场景深深,立体感强:可观察起伏较大的粗糙面,如金属、陶瓷和塑料等材料的断口;

5. 设备的技术参数

5.1 尺寸及重量设备投影尺寸2170mm×2295mm,高度1678㎜,重量(530+139)kg。

5.2整机参数

电子束分辨率:30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm

背散射电子分辨率:3.0nm@30kV

加速电压:0.02kV-30KV

放大倍数:高真空模式下:14X–1,000,000X;

探测器:二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机

样品台行程X≥125mm,Y≥125mm,Z≥50mm

倾斜角度≥-10~+90°,R=360°连续旋转

通过样品仓仓门更换样品,换样时间小于5min

 6. 设备的技术优势

该设备探测器配置齐全,拥有二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射探测器以及牛津仪器的能谱仪,能够满足多种样品的显微形貌观测及成分分析需求;操作系统能够实现样品舱内的五轴电动控制,换样时间短,操作方便。

7. 设备的应用行业

材料科学(金属材料、非金属材料、钠米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探等等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等。