扫描电子显微镜
1. 设备全景图片
2.设备概况
品牌:Carl Zeiss/德国
型号:Sigma 300
类型:扫描电子显微镜
用途:扫描电子显微镜主要用于芯片微观结构缺欠和材料成份的检测,用以判断结构欠缺导致的潜在风险和是否存在航天系统禁限用材料。
3. 设备功能简述
扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具,可以对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。主要可用于金属、陶瓷、高分子、半导体、地矿等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等,可对半导体器件的失效分析、表面形貌的观察及信息采集。
4. 设备的技术特点
4.1分辨力高:二次电子分辨率30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm;
4.2放大倍率范围广,倍率调节方便:放大倍数可从14~1000000倍连续可调;
4.3视场景深深,立体感强:可观察起伏较大的粗糙面,如金属、陶瓷和塑料等材料的断口;
5. 设备的技术参数
5.1 尺寸及重量:设备投影尺寸2170mm×2295mm,高度1678㎜,重量(530+139)kg。
5.2整机参数:
电子束分辨率:30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm
背散射电子分辨率:3.0nm@30kV
加速电压:0.02kV-30KV
放大倍数:高真空模式下:14X–1,000,000X;
探测器:二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机
样品台行程X≥125mm,Y≥125mm,Z≥50mm
倾斜角度≥-10~+90°,R=360°连续旋转
通过样品仓仓门更换样品,换样时间小于5min
6. 设备的技术优势
该设备探测器配置齐全,拥有二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射探测器以及牛津仪器的能谱仪,能够满足多种样品的显微形貌观测及成分分析需求;操作系统能够实现样品舱内的五轴电动控制,换样时间短,操作方便。
7. 设备的应用行业
材料科学(金属材料、非金属材料、钠米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探等等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等。