仪器名称 | 扫描电子显微镜 | 仪器型号 | Sigma 300 |
仪器编号 | 21118510T0015 | 仪器来源 | 保障条件建设项目 |
生产厂商 | 卡尔蔡司(上海)管理有限公司 | 启用日期 | 2020.12 |
仪器类别 | 航天 | 仪器原值 | 280.1 万元 |
所在部门单位 | 可靠性与环境试验中心 | ||
仪器负责人 | 翁正 | 联系电话 | 13521043714 |
地址 | 怀柔园区4号楼D0611 | 邮编 | 100190 |
wengzheng@nssc.ac.cn | |||
主要技术指标 | 1) 电子束分辨率:30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm;
2) 背散射电子分辨率:3.0nm@30kV; 3) 加速电压:0.02kV-30KV; 4) 探测器:二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机; 5) 样品台行程X≥125mm,Y≥125mm,Z≥50mm,倾斜角度≥-10~+90°,R=360°连续旋转; |
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包含主要附件 | 1) 能谱仪
2) 循环水机 3) 真空泵 4) 压缩机 5) UPS |
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仪器主要功能 | 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具,可以对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。主要可用于金属、陶瓷、高分子、半导体、地矿等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等,可对半导体器件的失效分析、表面形貌的观察及信息采集。 | ||
仪器服务领域 | 空间科学卫星系列及有效载荷研制测试 | ||
计量认证资质 | 实验室认可 | ||
仪器现状 | 完好 | ||
收费标准 | 558 元/小时 | ||
仪器图片 |